采用磁控溅射法制备了不同Ag 含量的(TA)5T 结构的TiO2/Ag 组装薄膜, 并研究了薄膜的结构及其性能. 利用X 射线衍射(X-ray diffraction, XRD)仪分析了薄膜的物相结构, 扫描电子显微镜(scanning electron microscope, SEM)观察了薄膜的表面形貌, 用紫外可见分光光度计(ultraviolet-visible spectrophotometry, UV-VIS)研究了薄膜的吸收光谱, 采用Keithley 2400 测试了薄膜的I-V 曲线, 计算了薄膜的电阻率. 结果表明: 在N2 气氛中500 ℃ 退火60 min, 制备得到的(TA)5T 结构TiO2/Ag 组装薄膜中的TiO2呈锐钛矿相, 并且随着Ag 含量的增加, TiO2晶粒变大; 分布在组装薄膜表面的Ag 纳米颗粒形状不规则、大小不统一且分布不均匀; 与纯TiO2薄膜对比, (TA)5T组装薄膜的吸收边蓝移, 出现了表面等离子体共振(surface plasmon resonance, SPR)吸收峰, 且其电阻率随着Ag 含量的增加而减小, 并可通过调节Ag 层厚度来调控Ag 含量, 从而调控等离子体共振峰的峰位.