溶胶-凝胶方法制备铁酸铋薄膜及膜厚的影响

上海大学学报(自然科学版) ›› 2008, Vol. 14 ›› Issue (5): 509-513 .

溶胶-凝胶方法制备铁酸铋薄膜及膜厚的影响

俞圣雯，蔡金玉，严云飞，程晋荣

上海大学　材料科学与工程学院，上海 200072

收稿日期:2008-05-04 修回日期:1900-01-01 出版日期:2008-10-23 发布日期:2008-10-23
通讯作者: 俞圣雯

BiFeO₃ Thin Films Fabricated by Sol-gel Method and Its Thickness Dependence

YU Sheng-wen,CAI Jin-yu,YAN Yun-fei,CHENG Jin-rong

School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China

Received:2008-05-04 Revised:1900-01-01 Online:2008-10-23 Published:2008-10-23
Contact: YU Sheng-wen

摘要/Abstract

摘要： 以溶胶-凝胶方法制备不同厚度的铁酸铋(BiFeO₃, BFO)薄膜，XRD分析表明，BFO薄膜呈钙钛矿相结构，且随着厚度的增加，薄膜的结晶性变好.而薄膜厚度为4层(200 nm)至8层(400nm)之间，其微观结构可能发生由赝立方相向三方相的转变.同时，随着膜厚的增加，BFO薄膜的介电性能得到改善，绝缘性能得到提高，铁电性能也相应地好转.

关键词: 薄膜, 厚度
, 溶胶凝胶, 铁酸铋

Abstract:

BiFeO₃ thin films with different layers/thicknesses were fabricated on Pt(111)/Si(100) substrates by sol-gel method. XRD results indicate that a phase transition from pseudocubic to rhombohedral might happen between the films with thicknesses of 4 layers/200 nm and 8 layers/400 nm. With increasing thickness, the films exhibit better crystallinity and dielectric properties. Meanwhile, insulation and ferroelectricy are improved as well.

Key words: film, sol-gel, thickness, BiFeO₃

中图分类号:

O 484

俞圣雯;蔡金玉;严云飞;程晋荣. 溶胶-凝胶方法制备铁酸铋薄膜及膜厚的影响[J]. 上海大学学报(自然科学版), 2008, 14(5): 509-513 .

YU Sheng-wen;CAI Jin-yu;YAN Yun-fei;CHENG Jin-rong. BiFeO₃ Thin Films Fabricated by Sol-gel Method and Its Thickness Dependence[J]. Journal of Shanghai University（Natural Science Edition）, 2008, 14(5): 509-513 .

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