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FIB 刻蚀对电化学制备多孔硅的影响
王婧洁1,2, 徐甲强1, 焦继伟2
Effect on Electrochemical-Made Porous Silicon by FIB Etching
WANG Jing-jie1,2, XU Jia-qiang1, JIAO Ji-wei2
上海大学学报(自然科学版) . 2014, (3): 355 -361 .  DOI: 10.3969/j.issn.1007-2861.2013.07.036

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