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压电薄膜微机电加速度传感器的力学分析
孙博华,韩立锋
Mechanical Analysis of Micromachined Accelerometer with Piezoelectric Thin Films Read-out
SUN Bohua,HAN Li-feng
上海大学学报(自然科学版) . 2009, (
6
): 621 -627 .