Y3+ 掺杂二氧化硅磨料的合成及其在氧化锆陶瓷中的
化学机械抛光行为
代三威, 雷 红, 付继芳
Preparation of Y3+-doped silica abrasives and the
chemical mechanical polishing behavior of
zirconia ceramics
DAI Sanwei, LEI Hong, FU Jifang
上海大学学报(自然科学版)
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2024, (1): 31
-042
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DOI: 10.12066/j.issn.1007-2861.2390
