纳米致动器研究现状与工程应用的进展

上海大学学报(自然科学版)

纳米致动器研究现状与工程应用的进展

张永宇，陈晓阳

上海大学机电工程与自动化学院, 上海 200072

收稿日期:2005-05-08 修回日期:1900-01-01 出版日期:1900-01-01 发布日期:1900-01-01
通讯作者: 陈晓阳

Advances in Theoretical Study and Engineering-Application of Nano-Actuators

ZHANG Yong-yu,CHEN Xiao-yang

School of Mechatronical Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai 200072, China

Received:2005-05-08 Revised:1900-01-01 Online:1900-01-01 Published:1900-01-01
Contact: CHEN Xiao-yang

摘要/Abstract

摘要：

纳米致动器是能够以0.1～100 nm 的步距驱动或移动被控对象的各种装置或器件.根据特征尺寸分为毫米尺度以上的宏机械纳米致动器、制作在芯片上的微米尺度纳米致动器及分子尺度的纳机械致动器，它们的共同特征是可以实现纳米级精度的机械驱动和定位.该文综述了纳米致动器国内外研究状况和主要研究成果，特别对近几年出现的典型的微机械纳米致动器的驱动机理进行了分析，讨论了纳米致动器在工程实际中的应用，指出了其发展的关键技术、存在问题及未来发展前景和趋势.

关键词: 纳机械, 纳米致动器, 微尺度, 微机电系统, 微机械致动器

Abstract:

Nano-actuators are devices and structure that can be actuated in the range of 0.1～100 nm. Nano-actuators are sorted into conventional dimension nano-actuators, micro scale nano-actuators and nano-machine actuators. The same characteristic is the nano-scale precision of driving and positioning. Research statusand main accomplishments of nano-actuators are summarized in detail. In particular, typical driving mechanisms of micro-scale nano-actuators appeared in the recent years are introduced. In addition, the key technology, existing problems and application prospect of nanoactuators are analyzed.

Key words: MEMS, micro scale, micro-machined actuators, nanomachine, nano-actuators

张永宇;陈晓阳. 纳米致动器研究现状与工程应用的进展[J]. 上海大学学报(自然科学版).

ZHANG Yong-yu;CHEN Xiao-yang. Advances in Theoretical Study and Engineering-Application of Nano-Actuators[J]. Journal of Shanghai University（Natural Science Edition）.

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