毫米波椭偏法测量介质的复介电常数

上海大学学报(自然科学版) ›› 2010, Vol. 16 ›› Issue (4): 371-375.

毫米波椭偏法测量介质的复介电常数

李素萍1，王子华1，张友俊2，张胜1，李铭祥3，李英1

（1.上海大学通信与信息工程学院，上海 200072； 2.上海海事大学信息工程学院，上海 200135；
3.上海大学电子物理研究所，上海 201800）

收稿日期:2009-03-09 出版日期:2010-08-30 发布日期:2010-08-30
通讯作者: 王子华(1946～），男，教授，博士生导师,研究方向为光纤与集成光学、光通信、微波与电磁场理论等. E-mail:zhwang@staff.shu.edu.cn
基金资助:
国家自然科学基金资助项目(60571054);上海大学研究生创新基金资助项目(SHUCX080153);上海市教委支出预算资助项目(2008101)

Ellipsometry for Measurement of Complex Permittivity of Materials in MillimeterWave Band

LI Su-ping1,WANG Zi-hua1,ZHANG You-jun2,ZHANG Sheng1,LI Ming-xiang3,LI Ying1

(1. School of Communication and Information Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China;
2. School of Information Engineering, Shanghai Maritime University, Shanghai 200135, China;
3. Institute of Electronic Physics, Shanghai University, Shanghai 201800, China)

Received:2009-03-09 Online:2010-08-30 Published:2010-08-30

摘要/Abstract

摘要：

将椭圆偏振测量法（椭偏法）的电磁频谱从原来可见光、红外波段拓展到毫米波段，对毫米波椭偏法测量原理进行理论分析，使用已构建的实验装置进行测量.通过对测量结果的分析，选择合适的入射角,经过大量测试，计算出被测介质材料的复介电常数.

关键词: 复介电常数；椭圆偏振测量法（椭偏法）；反射系数；毫米波

Abstract:

The electromagnetic frequency band of ellipsometry is extended from visible light and infrared band to millimeterwave band. We analyze the measurement principle of ellipsometry in millimeterwave band, and carry out experiments using a selfbuilt measurement apparatus. From the measured results, an appropriate incident angle is chosen. We obtain complex permittivity of materials based on a large amount of measured data.

Key words: complex permittivity; ellipsometry; reflection coefficient; millimeterwave

中图分类号:

TN 015

李素萍1，王子华1，张友俊2，张胜1，李铭祥3，李英1. 毫米波椭偏法测量介质的复介电常数[J]. 上海大学学报(自然科学版), 2010, 16(4): 371-375.

LI Su-ping1,WANG Zi-hua1,ZHANG You-jun2,ZHANG Sheng1,LI Ming-xiang3,LI Ying1. Ellipsometry for Measurement of Complex Permittivity of Materials in MillimeterWave Band[J]. Journal of Shanghai University（Natural Science Edition）, 2010, 16(4): 371-375.

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