上海大学学报(自然科学版) ›› 1995, Vol. 1 ›› Issue (1): 85-90.
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陆景唐,季超仁,李伟,宋汉斌,董鸣
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摘要： 本文介绍了四连杆系统、三自由度平台等微机械组件的设计和研制，叙述了微加工工艺过程，提出了工艺难点和解决方法，据实际实验尺寸分别对四连杆和平台的运动特性作了数据值模拟，该平台占地约０．２ｍｍ＾２，最大工作区域为０．０２ｍｍ＾２，研制成的四连杆，平台及其它几种尺寸的单连杆均可在外力拨动下灵活地旋转或迁移。
关键词: 多晶硅, 连杆, 平台, 微电子机械系统, 微加工
中图分类号:
TN305.1 TH133.5
陆景唐,季超仁,李伟,宋汉斌,董鸣. 多晶硅连杆和平台系统的微加工[J]. 上海大学学报(自然科学版), 1995, 1(1): 85-90.
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